Reaktív magnetron porlasztással?
Pontszám: 4,6/5 ( 63 szavazat )A reaktív magnetronos porlasztás egy kiforrott technika arra, hogy vékony összetett réteget vigyenek fel szubsztrátumok széles skálájára felső rétegként vagy köztes rétegként egy többrétegű bevonatban. A „vékony” hatóköre néhány nanométertől több mikrométerig terjed.
Miért porlad a magnetron?
A mágnesporlasztás a beeső részecskék és a céltárgyak ütközési folyamata . ... A mágneses porlasztás növeli a plazma sűrűségét azáltal, hogy mágneses mezőt hoz létre a célkatód felületén, és kihasználja a mágneses tér kényszereit a töltött részecskékre a porlasztási sebesség növelésére.
Mit jelent a reaktív porlasztás?
A reaktív porlasztás egy olyan eljárás, amely lehetővé teszi a vegyületek leválasztását egy reaktív gáz (jellemzően oxigén vagy nitrogén) plazmába juttatásával , amelyet jellemzően inert gázok, például argon (leggyakrabban), xenon vagy kripton képeznek.
Hogyan működik a magnetron porlasztás?
A magnetronos porlasztás egy olyan leválasztási technológia, amely gáznemű plazmát használ, amelyet létrehoznak, és a leválasztandó anyagot tartalmazó térbe zárnak be – a „célpont”. ... Ezek az ütközések elektrosztatikus taszítást okoznak, amely „kiüti” az elektronokat a porlasztó gázatomokból, ionizációt okozva.
Miért fröcsköl az RF?
A rádiófrekvenciás vagy rádiófrekvenciás porlasztás az a technika, amely a vákuumkörnyezetben az áram elektromos potenciáljának rádiófrekvenciás váltakozását jelenti, hogy elkerüljük a töltés felhalmozódását bizonyos típusú porlasztó célanyagokon , amelyek idővel a plazmába ívelt ívet eredményezhetnek. cseppek ...
A magnetronporlasztás egyszerű áttekintése
Mekkora a porlasztási folyamathoz használt RF frekvencia?
A rádiófrekvenciás (RF) – jellemzően 13,56 MHz -en – leadott teljesítmény és egy automatikus impedanciaillesztő hálózat segítségével az áramkör teljes impedanciája 50 Ω-ra szabályozható, amely alkalmas plazmagyújtásra tipikus porlasztásos környezetben.
Milyen előnyei vannak az RF-porlasztásnak a DC-porlasztással szemben?
Az RF Sputtering számos előnnyel rendelkezik: Jól működik szigetelő célokkal . Az elektromos mező előjele a plazmakamra minden felületén a meghajtó RF frekvenciával változik . Ezzel elkerülhető a töltési hatás és csökken az ívképződés.
Hogyan működik a porlasztó bevonat?
A porlasztásos bevonat egy fizikai gőzleválasztási eljárás, amelyet nagyon vékony, funkcionális bevonat felvitelére használnak a hordozóra. A folyamat egy porlasztó katód elektromos töltésével kezdődik, amely plazmát képez, ami anyag kilökődését okozza a célfelületről .
Mi a porlasztás elve?
A porlasztás elve a plazma (részben ionizált gáz) energiájának felhasználása a céltárgy (katód) felületén, az anyag atomjainak egyenkénti kihúzása és a hordozóra történő lerakódása.
Miért használják a magnetronos porlasztást nanoanyagok szintézisére?
Kimutattuk, hogy az egyenáramú magnetronporlasztás alkalmas Ag nanorészecskék szintetizálására, amelyekben méretük pontosan szabályozható . Állandó porlasztási áram és lerakódási idő mellett az Ag nanorészecske mérete fordítottan arányos a cél-szubsztrát távolsággal.
Mit jelent a porlasztás szó?
1 : robbanásveszélyes hangokkal köpni vagy kifröccsenni a szájból. 2: elhamarkodottan vagy robbanékonyan kimondani zavartan vagy izgatottan: "ez nevetséges!" – dörmögte a lány. 3 : (atomok) kiszorítása egy anyag felületéről nagy energiájú részecskékkel való ütközéssel, továbbá : ilyen eljárással lerakni (fémfilmet).
Mi az a reaktív magnetron porlasztás?
A reaktív magnetronos porlasztás egy jól bevált fizikai gőztechnika, amellyel vékony, összetett filmeket visznek fel különböző hordozókra , kezdve a kopásálló autóalkatrészek szigetelő üvegezésétől a nagy érzékenységű érintőképernyőkig.
Mi a porlasztás célja?
A porlasztás egy fizikai gőzfázisú leválasztásos vákuum eljárás, amellyel nagyon vékony filmeket visznek fel egy hordozóra számos kereskedelmi és tudományos célra . A porlasztás akkor következik be, amikor egy ionizált gázmolekulát használnak egy adott anyag atomjainak kiszorítására.
Mit lehet alkalmazni magnetronos porlasztáshoz?
A célpontot vízzel hűtik, így kevés sugárzási hő keletkezik. Fémek széles skálája használható, beleértve az ezüstöt, rézt, sárgarézt, titánt, szilikont, szilikon-nitridet és szén-nitridet . 16.14. ábra. A magnetronos porlasztó bevonógép mechanizmusának sematikus diagramja.
Mi a plazma a magnetronporlasztásban?
A Magnetron Sputtering egy plazmagőz-leválasztási (PVD) folyamat, amelyben plazmát hoznak létre, és a plazmából származó pozitív töltésű ionokat a negatív töltésű elektródára vagy "célpontra" helyezett elektromos tér felgyorsítja .
Mi a különbség a porlasztás és a párolgás között?
A termikus párologtatás során a kiindulási anyagot egy fémtartály ellenállása által termelt hővel vagy egy nagy energiájú elektronnyaláb bombázásával párolgási hőmérsékletre hozzák. ... - A nagyobb energia porlasztással nagyobb tömörítési sűrűséget és jobb tapadást eredményez, ha alacsony a feszültség.
Melyek a porlasztási folyamat lépései?
Alapvetően a porlasztási eljárás lépései a következők: (i) a semleges gázt külső tápegység ionizálja, izzító kisülést vagy plazmát hozva létre ; (ii) egy forrást (a katódot, amelyet célpontnak is neveznek) nagy vákuumban gázionok bombáznak a katódhüvelyben fellépő potenciális ejtési gyorsulás miatt; (iii) ...
Mi a porlasztás a kémiában?
A kémiai porlasztást úgy definiálják, mint „ olyan folyamatot, amelynek során az ionbombázás olyan kémiai reakciót idéz elő vagy enged meg, amely olyan részecskét hoz létre, amely gyengén kötődik a felülethez, és így könnyen deszorbeálódik a gázfázisba ” [35].
Mi a porlasztás a kémiában?
A porlasztást úgy határozhatjuk meg, mint az a folyamat, amelynek során részecskék távoznak a felületről a beeső sugárzás közvetlen következményeként . Amikor a részecskék elhagyják a felületet a beeső sugárzás által kiváltott ütközési kaszkád lendületének hatására, a folyamatot „fizikai porlasztásnak” nevezik.
Mennyi ideig tart a PVD bevonat?
Fokozatosan és meglehetősen hosszú időn keresztül. Megfelelő gondozás mellett 10 évig vagy még tovább is kibírja .
Hogyan működik a PVD folyamat?
A fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) egyike azon vákuum bevonási eljárásoknak, amelyek során a bevonóanyag filmjét általában atomról atomra rakják le egy szubsztrátumra a gőzfázisból szilárd fázisba történő kondenzáció útján .
Mi az a porlasztásos bevonatú üveg?
A porlasztott bevonatok off-line felhordása az úsztatott üveggyártási folyamattól függetlenül történik. Vékony filmek úgy jönnek létre, hogy a nagy energiájú ionokat a céltárgyaktól az üvegfelület felé gyorsítják alacsony hőmérsékleten. Az ionok bombázzák az üvegfelületet, egységes, vékony rétegeket képezve.
Mi a különbség a DC és RF porlasztás között?
A fő különbség az, hogy a rádiófrekvenciás porlasztáshoz használt teljesítmény AC , míg az egyenáramú porlasztásnál egyenáramú. Alapvetően az egyenáramú porlasztás során a munkagáz ionizálódik. ... A pozitív elektromos tér során a pozitív ionok felgyorsulnak a céltárgy felületére és kiporlasztják azt.
Miért használják az RF porlasztást szigetelőkhöz?
Ennek eredményeként az elektronok például egy szigetelő célpontjának eltalálásakor nettó negatív töltést hagynak a felületen, és ez a negatív torzítás lehetővé teszi a pozitív töltésű ionok vonzását, és lehetővé teszi a szigetelők porlasztását egy tipikus rádiófrekvenciás porlasztási folyamatban. .
Miért nem alkalmas a DC porlasztásos technika szigetelőanyagokhoz?
Az egyenáramú porlasztás minden vezetőképes célanyaggal működik. Ezzel a technikával azonban nem lehet szigetelőanyagokat porlasztani, mivel a pozitív töltésű ionok nem tudnak átfolyni a szigetelőn, és így az elektromos áramkör megszakad .