Melyek a porlasztás különböző típusai?

Mi az RF porlasztás?

A rádiófrekvenciás vagy rádiófrekvenciás porlasztás az a technika, amely a vákuumkörnyezetben az áram elektromos potenciáljának rádiófrekvenciás váltakozását jelenti, hogy elkerüljük a töltés felhalmozódását bizonyos típusú porlasztó célanyagokon, amelyek idővel a plazmába ívelt ívet eredményezhetnek. cseppek ...

Mit lehet alkalmazni magnetronos porlasztáshoz?

5 Magnetron porlasztásos leválasztás. A magnetronos porlasztás egy nagy sebességű vákuum bevonási technika, amely lehetővé teszi sokféle anyag, köztük fémek és kerámiák lerakódását tetszőleges számú hordozóanyagra egy speciálisan kialakított mágneses tér segítségével, amelyet egy diódaporlasztási célpontra alkalmaznak.

Miért kell mágneses teret használnunk magnetronporlasztáshoz?

A magnetronos porlasztáshoz mágneses mezőt használnak az elektronok célhoz közeli korlátozására, ami viszont javítja az alacsony nyomású gáz ionizációját . Ez növeli a plazma sűrűségét, és lehetővé teszi a porlasztást alacsonyabb nyomáson és feszültségen.

Mi az a DC és RF porlasztás?

A fő különbség az, hogy a rádiófrekvenciás porlasztáshoz használt teljesítmény AC, míg az egyenáramú porlasztásnál egyenáramú . Alapvetően az egyenáramú porlasztás során a munkagáz ionizálódik. ... A pozitív elektromos tér során a pozitív ionok felgyorsulnak a céltárgy felületére és kiporlasztják azt.

Mi az a DC porlasztás?

Az egyenáramú vagy egyenáramú porlasztás egy vékonyrétegű fizikai gőzleválasztásos (PVD) bevonási technika, ahol a bevonatként használandó célanyagot ionizált gázmolekulákkal bombázzák, ami atomok „porlasztását” okozza a plazmában . ...

Mi az a diódaporlasztás?

A diódaporlasztásnál nem használnak mágneseket , így nincs mágneses mező sem, amely a plazmát tartalmazná. Ez azt jelenti, hogy a plazmaionok szabadon áramlanak az egész vákuumrendszerben, és aktiválják a célpont teljes felületét, növelve a célfelhasználást.

Mi az a PVD porlasztás?

A porlasztásos leválasztás a vékonyréteg-leválasztás fizikai gőzleválasztási (PVD) módszere porlasztással . Ez magában foglalja az anyag kilökését egy "céltárgyból", amely forrás egy "szubsztrátumra", például egy szilícium lapkára. ... A porlasztó gáz gyakran inert gáz, például argon.

Mi az a Semicore porlasztás?

Atomi szinten a porlasztás az a folyamat, amelynek során az atomok kilökődnek a céltárgyból vagy forrásanyagból, amelyet egy szubsztrátumra – például szilícium ostyára, napelemre vagy optikai eszközre – kell lerakni, a céltárgy bombázása következtében. nagy energiájú részecskék.

Mi az a katódporlasztás?

a negatív elektród (katód) megsemmisülése gázkisülésben pozitív ionok becsapódása következtében . Tágabb értelemben ez a szilárd test megsemmisülése töltött vagy semleges részecskék általi bombázással.

Mi az a porlasztó bevonat?

A porlasztásos bevonat egy fizikai gőzfázisú leválasztási eljárás, amellyel nagyon vékony, funkcionális bevonatot visznek fel egy hordozóra . A folyamat egy porlasztó katód elektromos töltésével kezdődik, amely plazmát képez, ami anyag kilökődését okozza a célfelületről.

Mit csinál egy magnetron?

A magnetronok rendkívül magas frekvenciákat és nagyon nagy teljesítményű rövid sorozatokat is képesek generálni . Fontos energiaforrást jelentenek a radarrendszerekben és a mikrohullámú sütőkben.

Milyen előnyei vannak az RF-porlasztásnak a DC-porlasztással szemben?

Az RF Sputtering számos előnnyel rendelkezik: Jól működik szigetelő célokkal . Az elektromos mező előjele a plazmakamra minden felületén a meghajtó RF frekvenciával változik . Ezzel elkerülhető a töltési hatás és csökken az ívképződés.

Hogyan jön létre a plazma porlasztás során?

A plazma porlasztó gáz (általában kémiailag inert, nehéz gáz, például argon) ionizálásával jön létre. A porlasztó gáz bombázza a célpontot, és leporlasztja a lerakni kívánt anyagot. Ionok keletkezhetnek semleges atomok és nagy energiájú elektronok ütközésével.

Hogyan porlasztják az anyagokat?

A fizikában a porlasztás olyan jelenség, amelyben egy szilárd anyag mikroszkopikus részecskéi kilökődnek a felületéről , miután magát az anyagot plazma vagy gáz energikus részecskéi bombázzák. A természetben előfordul a világűrben, és a precíziós alkatrészek nemkívánatos kopási forrása lehet.

Mi az a centrifugálási technika?

A centrifugálás egy olyan eljárás, amellyel egyenletes vékony filmréteget visznek fel sík felületekre . ... A forgást addig folytatjuk, amíg a folyadék lepereg az alapfelület széleiről, amíg el nem éri a kívánt filmvastagságot. Az alkalmazott oldószer általában illékony, és ezzel egyidejűleg elpárolog.

Mi a plazma a magnetronporlasztásban?

A Magnetron Sputtering egy plazmagőz-leválasztási (PVD) folyamat, amelyben plazmát hoznak létre, és a plazmából származó pozitív töltésű ionokat a negatív töltésű elektródára vagy "célpontra" helyezett elektromos tér felgyorsítja .

Miért használjuk a porlasztást?

A porlasztó bevonat megakadályozza a minta feltöltődését , ami egyébként a statikus elektromos mezők felhalmozódása miatt következne be. Emellett növeli a próbatest felületéről detektálható másodlagos elektronok mennyiségét a SEM-ben, és ezért növeli a jel-zaj arányt.

Az RF AC vagy DC?

A rádiófrekvencia (RF) egy váltakozó elektromos áram vagy feszültség, vagy egy mágneses, elektromos vagy elektromágneses mező vagy mechanikai rendszer rezgési sebessége a körülbelül 20 kHz és körülbelül 300 GHz közötti frekvenciatartományban.

Milyen frekvencián történik a teljesítmény leadása RF porlasztásnál?

A rádiófrekvenciás (RF) – jellemzően 13,56 MHz -en – leadott teljesítmény és egy automatikus impedanciaillesztő hálózat segítségével az áramkör teljes impedanciája 50 Ω-ra szabályozható, amely alkalmas plazmagyújtásra tipikus porlasztásos környezetben.