Reaktív ionos maratással?
Pontszám: 4,4/5 ( 7 szavazat )A reaktív ionos maratás (RIE) egy mikrogyártásban használt maratási technológia . A RIE a száraz maratás egy fajtája, amely más tulajdonságokkal rendelkezik, mint a nedves maratás. A RIE kémiailag reaktív plazmát használ az ostyákon lerakódott anyagok eltávolítására. A plazmát alacsony nyomáson (vákuumban) elektromágneses tér hozza létre.
Mi az a reaktív ionmaratási folyamat?
A reaktív ionmarattatás (RIE) kémiai és fizikai reakciók kombinációját alkalmazza az anyag eltávolítására a szubsztrátumról ; ez a legegyszerűbb folyamat, amely képes irányított maratásra.
Mire használható a RIE?
A reaktív ionmarattatás (RIE) a plazmamaratási technológia egyik típusa, amelyet a félvezetők speciális piacain használnak eszközgyártáshoz . A kémiailag reaktív anyagokat (ionokat) felgyorsítják a szubsztrátum (általában egy szilíciumlapka) felé, hogy eltávolítsák a meghatározott lerakódott anyagot.
Mi a különbség a reaktív ionos maratás és a plazmamarás között?
A legszembetűnőbb különbség a reaktív ionos marás és az izotróp plazmamarás között a maratási irány . Míg a RIE sokkal erősebb etch-et biztosít, de irányított etch-et is biztosít. A plazma lefelé haladva, szinte oldalirányú marás nélkül marat.
Milyen gázt használnak a RIE-ben?
Az általam használt RIE marató SF6, CHF3, O2 és Ar gázok közül választhat.
Szilícium maratása plazmával – Reaktív ionos maratás (RIE)
Mi a különbség az izotróp és az anizotrop maratás között?
Az izotróp és az anizotróp maratások közötti különbségek a maratási maszk alatt kivájt alakhoz köthetők . Az anizotróp marás akkor történik, amikor a plazmamarás merőleges és egy irányban történik, míg az izotróp marás akkor fordul elő, ha a plazmamarás minden irányban történik.
Hogyan történik a rézkarc?
- A rézkarc egy mélynyomatkészítési eljárás, amelynek során vonalakat vagy területeket sav segítségével bemetszenek egy fémlemezbe, hogy megtartsák a tinta. ...
- Egy tompa tollal, amelyet maratótűnek neveznek, a nyomdász finoman lekaparja a talaj egyes részeit a mintát követve, ezáltal szabaddá téve az alatta lévő fémet.
Melyek a különböző maratási típusok?
- Nedves maratás, ahol az anyag kémiai oldatba merítve feloldódik.
- Száraz maratás, ahol az anyagot reaktív ionokkal vagy gőzfázisú maratószerrel porlasztják vagy oldják.
Ha magas a marási szelektivitás, ez azt jelenti?
A nagy szelektivitás relatív kifejezés annak leírására , amikor két anyag jelentősen eltérő marási sebességgel marat a kívánt eredmény elérése érdekében . Gyakran olyan esetekre utal, amikor a maszk lassan marat, mint a maratással mintázott anyag.
Hol alkalmazzák a száraz maratást?
A száraz maratást jelenleg a félvezetőgyártási folyamatokban használják, mivel a nedves maratáson egyedülállóan képes anizotróp maratást (anyageltávolítást) végezni, így nagy méretarányú struktúrákat (pl. mély lyukakat vagy kondenzátorárkokat) hoz létre.
Mi a különbség a RIE és az ICP között?
Az ICP RIE és RIE közötti kulcsfontosságú különbség a katódhoz csatlakoztatott különálló ICP RF tápforrás , amely egyenáramú előfeszítést generál és ionokat vonz a lapkához. Így az ICP RIE technológiával lehetőség nyílik az ostyára leadott ionáram és ionenergia szétválasztására, megnövelve a folyamat ablakát.
Mi az a plazmamaratási folyamat?
A plazmamaratás az anyag eltávolítása a felületről plazma eljárással . Ez azt jelenti, hogy a mintát megfelelő plazmagáz-keverékkel kezelik, és a mintát pulzálják. A plazmaforrás, az úgynevezett etch faj, lehet töltött (ionok) vagy semleges (atomok és gyökök).
Mi az a nedves maratási eljárás?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
Mi az ionsugaras maratás?
Az ionsugaras maratás (IBE) egy vékonyréteg-technika, amely ionforrást használ az anyageltávolítási folyamatok végrehajtására a hordozón . Az IBE az ionsugaras porlasztás egy fajtája, és akár előtisztításra, akár mintázott maratásra használják, segíti a kiváló tapadást és a 3D-s struktúrák pontos kialakítását.
A RIE anizotróp vagy izotróp?
A RIE kémiai és fizikai maratás kombinációján alapul, amely lehetővé teszi az izotróp és anizotróp (egyirányú) anyageltávolítást.
Mi okozhatja a maratási eseményt a száraz maratással?
A kémiai száraz maratás a maratógázok közötti kémiai reakciót alkalmazza a szubsztrátum anyagának megtámadására . A gáznemű reakciótermékek feltételei ennek a maratási koncepciónak, mivel a szilárd termékek lerakódása védi a felületet és leállítja a maratási folyamatot.
Mik a nedves maratás előnyei és hátrányai?
Nedves vegyi maratás: Előnyök: Olcsó, szinte károsodásmentes a tisztán kémiai természet miatt , erősen szelektív Hátrányok: rossz anizotrópia, rossz folyamatszabályozás (hőmérsékletérzékenység), rossz részecskeszabályozás, magas vegyszeres ártalmatlanítási költségek, nehezen használható kis jellemzőkkel (buborékok, stb...).
Miért van szükség maratásra?
A maratással szelektív kémiai támadás révén feltárják a fém mikroszerkezetét . Eltávolítja a csiszolás és polírozás során keletkezett vékony, erősen deformálódott réteget is. Az egynél több fázisú ötvözetek esetében a maratás kontrasztot hoz létre a különböző régiók között a domborzati vagy tükrözési különbségek révén.
Mi befolyásolja a marási sebességet?
A maratási sebességet a bombázó ionok és az energetikai semlegesek (töltésátviteli termékek) fluxusa és energiaeloszlása, míg az anizotrópiát az irányultságuk határozza meg.
Milyen két technikát használnak a maratáshoz?
Azóta számos maratási technikát fejlesztettek ki, amelyeket gyakran egymással együtt alkalmaznak: a lágy-őrölt maratáshoz nem száradó védőréteget vagy csiszolatot használnak, hogy lágyabb vonalakat hozzon létre; a kiköpött harapás során festés vagy sav fröccsenése a tányérra; nyitott harapás, amelyben a lemez területei savnak vannak kitéve, és nem ...
Drága a száraz maratás?
Például egyes gázok, amelyeket száraz maratáshoz használnak, mérgezőek és maró hatásúak. Az illékony vegyületek újbóli lerakódása az illékony vegyületek alkalmazása során felmerülő fő probléma. Ez a módszer meglehetősen drága, mert speciális berendezésekre van szükség .
Mi a rézkarc és típusa?
A maratás az a folyamat, amikor az anyagot eltávolítják az anyag felületéről. A maratás két fő típusa a nedves maratás és a száraz maratás (pl. plazmamarás). A maratási eljárást, amely során folyékony vegyszereket vagy maratószereket használnak a hordozóanyag eltávolítására, nedves maratásnak nevezik.
A rézkarc eredeti művészet?
Annak ellenére, hogy egynél több rézkarc létezik, mindegyik eredeti műalkotásnak számít, mert nem másnak semmi másnak a másolata . A leghíresebb művészek, akik ebben a közegben dolgoztak, Rembrandt, Whistler és Picasso. David Hunter 2018. augusztus 31. és szeptember 3. között bemutatja, hogyan préselik a rézkarcokat.
Mi a különbség a rézkarc és a gravírozás között?
Van azonban egy nagy különbség a kettő között: a maratás kémiai folyamat, míg a gravírozás fizikai folyamat . ... Az előbbi savas oldatot (maratószert) használ a vonalak felületbe marására, gyakran bonyolult és részletgazdag terveket hagyva maga után.