Reaktív ionos maratással?

Pontszám: 4,4/5 ( 7 szavazat )

A reaktív ionos maratás (RIE) egy mikrogyártásban használt maratási technológia . A RIE a száraz maratás egy fajtája, amely más tulajdonságokkal rendelkezik, mint a nedves maratás. A RIE kémiailag reaktív plazmát használ az ostyákon lerakódott anyagok eltávolítására. A plazmát alacsony nyomáson (vákuumban) elektromágneses tér hozza létre.

Mi az a reaktív ionmaratási folyamat?

A reaktív ionmarattatás (RIE) kémiai és fizikai reakciók kombinációját alkalmazza az anyag eltávolítására a szubsztrátumról ; ez a legegyszerűbb folyamat, amely képes irányított maratásra.

Mire használható a RIE?

A reaktív ionmarattatás (RIE) a plazmamaratási technológia egyik típusa, amelyet a félvezetők speciális piacain használnak eszközgyártáshoz . A kémiailag reaktív anyagokat (ionokat) felgyorsítják a szubsztrátum (általában egy szilíciumlapka) felé, hogy eltávolítsák a meghatározott lerakódott anyagot.

Mi a különbség a reaktív ionos maratás és a plazmamarás között?

A legszembetűnőbb különbség a reaktív ionos marás és az izotróp plazmamarás között a maratási irány . Míg a RIE sokkal erősebb etch-et biztosít, de irányított etch-et is biztosít. A plazma lefelé haladva, szinte oldalirányú marás nélkül marat.

Milyen gázt használnak a RIE-ben?

Az általam használt RIE marató SF6, CHF3, O2 és Ar gázok közül választhat.

Szilícium maratása plazmával – Reaktív ionos maratás (RIE)

34 kapcsolódó kérdés található

Mi a különbség az izotróp és az anizotrop maratás között?

Az izotróp és az anizotróp maratások közötti különbségek a maratási maszk alatt kivájt alakhoz köthetők . Az anizotróp marás akkor történik, amikor a plazmamarás merőleges és egy irányban történik, míg az izotróp marás akkor fordul elő, ha a plazmamarás minden irányban történik.

Hogyan történik a rézkarc?

Rézkarc
  1. A rézkarc egy mélynyomatkészítési eljárás, amelynek során vonalakat vagy területeket sav segítségével bemetszenek egy fémlemezbe, hogy megtartsák a tinta. ...
  2. Egy tompa tollal, amelyet maratótűnek neveznek, a nyomdász finoman lekaparja a talaj egyes részeit a mintát követve, ezáltal szabaddá téve az alatta lévő fémet.

Melyek a különböző maratási típusok?

A maratási eljárásoknak általában két osztálya van:
  • Nedves maratás, ahol az anyag kémiai oldatba merítve feloldódik.
  • Száraz maratás, ahol az anyagot reaktív ionokkal vagy gőzfázisú maratószerrel porlasztják vagy oldják.

Ha magas a marási szelektivitás, ez azt jelenti?

A nagy szelektivitás relatív kifejezés annak leírására , amikor két anyag jelentősen eltérő marási sebességgel marat a kívánt eredmény elérése érdekében . Gyakran olyan esetekre utal, amikor a maszk lassan marat, mint a maratással mintázott anyag.

Hol alkalmazzák a száraz maratást?

A száraz maratást jelenleg a félvezetőgyártási folyamatokban használják, mivel a nedves maratáson egyedülállóan képes anizotróp maratást (anyageltávolítást) végezni, így nagy méretarányú struktúrákat (pl. mély lyukakat vagy kondenzátorárkokat) hoz létre.

Mi a különbség a RIE és az ICP között?

Az ICP RIE és RIE közötti kulcsfontosságú különbség a katódhoz csatlakoztatott különálló ICP RF tápforrás , amely egyenáramú előfeszítést generál és ionokat vonz a lapkához. Így az ICP RIE technológiával lehetőség nyílik az ostyára leadott ionáram és ionenergia szétválasztására, megnövelve a folyamat ablakát.

Mi az a plazmamaratási folyamat?

A plazmamaratás az anyag eltávolítása a felületről plazma eljárással . Ez azt jelenti, hogy a mintát megfelelő plazmagáz-keverékkel kezelik, és a mintát pulzálják. A plazmaforrás, az úgynevezett etch faj, lehet töltött (ionok) vagy semleges (atomok és gyökök).

Mi az a nedves maratási eljárás?

A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.

Mi az ionsugaras maratás?

Az ionsugaras maratás (IBE) egy vékonyréteg-technika, amely ionforrást használ az anyageltávolítási folyamatok végrehajtására a hordozón . Az IBE az ionsugaras porlasztás egy fajtája, és akár előtisztításra, akár mintázott maratásra használják, segíti a kiváló tapadást és a 3D-s struktúrák pontos kialakítását.

A RIE anizotróp vagy izotróp?

A RIE kémiai és fizikai maratás kombinációján alapul, amely lehetővé teszi az izotróp és anizotróp (egyirányú) anyageltávolítást.

Mi okozhatja a maratási eseményt a száraz maratással?

A kémiai száraz maratás a maratógázok közötti kémiai reakciót alkalmazza a szubsztrátum anyagának megtámadására . A gáznemű reakciótermékek feltételei ennek a maratási koncepciónak, mivel a szilárd termékek lerakódása védi a felületet és leállítja a maratási folyamatot.

Mik a nedves maratás előnyei és hátrányai?

Nedves vegyi maratás: Előnyök: Olcsó, szinte károsodásmentes a tisztán kémiai természet miatt , erősen szelektív Hátrányok: rossz anizotrópia, rossz folyamatszabályozás (hőmérsékletérzékenység), rossz részecskeszabályozás, magas vegyszeres ártalmatlanítási költségek, nehezen használható kis jellemzőkkel (buborékok, stb...).

Miért van szükség maratásra?

A maratással szelektív kémiai támadás révén feltárják a fém mikroszerkezetét . Eltávolítja a csiszolás és polírozás során keletkezett vékony, erősen deformálódott réteget is. Az egynél több fázisú ötvözetek esetében a maratás kontrasztot hoz létre a különböző régiók között a domborzati vagy tükrözési különbségek révén.

Mi befolyásolja a marási sebességet?

A maratási sebességet a bombázó ionok és az energetikai semlegesek (töltésátviteli termékek) fluxusa és energiaeloszlása, míg az anizotrópiát az irányultságuk határozza meg.

Milyen két technikát használnak a maratáshoz?

Azóta számos maratási technikát fejlesztettek ki, amelyeket gyakran egymással együtt alkalmaznak: a lágy-őrölt maratáshoz nem száradó védőréteget vagy csiszolatot használnak, hogy lágyabb vonalakat hozzon létre; a kiköpött harapás során festés vagy sav fröccsenése a tányérra; nyitott harapás, amelyben a lemez területei savnak vannak kitéve, és nem ...

Drága a száraz maratás?

Például egyes gázok, amelyeket száraz maratáshoz használnak, mérgezőek és maró hatásúak. Az illékony vegyületek újbóli lerakódása az illékony vegyületek alkalmazása során felmerülő fő probléma. Ez a módszer meglehetősen drága, mert speciális berendezésekre van szükség .

Mi a rézkarc és típusa?

A maratás az a folyamat, amikor az anyagot eltávolítják az anyag felületéről. A maratás két fő típusa a nedves maratás és a száraz maratás (pl. plazmamarás). A maratási eljárást, amely során folyékony vegyszereket vagy maratószereket használnak a hordozóanyag eltávolítására, nedves maratásnak nevezik.

A rézkarc eredeti művészet?

Annak ellenére, hogy egynél több rézkarc létezik, mindegyik eredeti műalkotásnak számít, mert nem másnak semmi másnak a másolata . A leghíresebb művészek, akik ebben a közegben dolgoztak, Rembrandt, Whistler és Picasso. David Hunter 2018. augusztus 31. és szeptember 3. között bemutatja, hogyan préselik a rézkarcokat.

Mi a különbség a rézkarc és a gravírozás között?

Van azonban egy nagy különbség a kettő között: a maratás kémiai folyamat, míg a gravírozás fizikai folyamat . ... Az előbbi savas oldatot (maratószert) használ a vonalak felületbe marására, gyakran bonyolult és részletgazdag terveket hagyva maga után.