Mik a nedves maratás hátrányai?

Nedves vegyi maratás: Előnyök: Olcsó, szinte károsodásmentes a tisztán kémiai természet miatt, erősen szelektív Hátrányok: rossz anizotrópia, rossz folyamatszabályozás (hőmérsékletérzékenység), rossz részecskeszabályozás, magas vegyszeres ártalmatlanítási költségek , nehezen használható kis jellemzőkkel (buborékok, stb...).

Mit igényel a nedves marás folyamata?

A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . A konkrét mintákat az ostyán lévő fotoreziszt maszkok határozzák meg. ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.

Melyek a nedves maratási eljárás előnyei?

A nedves maratási eljárások előnyei viszonylag gyorsak, magas maratási sebesség mellett . Az egyszerű berendezési fürdők vagy a nedves vegyszerek permetezése nagy szelektivitással rendelkezhet. A nedves eljárásra jellemző maratószerek folyékony oldószerek, korrozív piócák és savak.

A Tmah maratja az üveget?

A TMAH marási sebessége 0,5 µm/perc 85 ˚C hőmérsékleten [2]. A következő felszerelést kell használni: Szemvédelem: Védőszemüveg és arcvédő szükséges.

Mi a különbség a nedves és száraz maratás között?

A száraz és nedves maratás a maratási eljárások két fő típusa. Ezek a folyamatok hasznosak a felületi anyagok eltávolítására és a felületeken minták létrehozására. A fő különbség a száraz és a nedves maratás között az , hogy a száraz maratás folyékony fázisban történik, míg a nedves maratás plazmafázisban történik.

Mit jelent a maratási eljárás?

A maratás hagyományosan az a folyamat, amikor erős savat vagy maróanyagot használnak a fémfelület védetlen részeibe való bevágásra, hogy mélynyomatú (bekarcolt) mintát hozzanak létre a fémben . A modern gyártás során más vegyszerek is használhatók más típusú anyagokon.

A száraz maratás anizotróp?

A száraz maratás általában egy anizotróp folyamat , amelyben a szubsztrát felé felgyorsuló ionfajták lendületét maszkolási eljárással kombinálva a célanyagok fizikai eltávolítására és maratására használják fel.

Milyen két technikát használnak a maratáshoz?

Azóta számos maratási technikát fejlesztettek ki, amelyeket gyakran egymással együtt alkalmaznak: a lágy-őrölt maratáshoz nem száradó védőréteget vagy csiszolatot használnak, hogy lágyabb vonalakat hozzon létre; a kiköpött harapás során festés vagy sav fröccsenése a tányérra; nyitott harapás, amelyben a lemez területei savnak vannak kitéve, és nem ...

Ha magas a marási szelektivitás, ez azt jelenti?

A nagy szelektivitás relatív kifejezés annak leírására , amikor két anyag jelentősen eltérő marási sebességgel marat a kívánt eredmény elérése érdekében . Gyakran olyan esetekre utal, amikor a maszk lassan marat, mint a maratással mintázott anyag.

Az alábbiak közül melyiket használják maratási folyamathoz?

Az első maratási eljárások folyékony fázisú ("nedves") maratószereket használtak . Az ostya maratószer fürdőbe meríthető, amelyet a folyamat jó irányítása érdekében keverni kell. Például a pufferolt hidrogén-fluoridot (BHF) általában szilícium-dioxid szilícium-hordozón való maratására használják.

A TMAH maratja a SiO2-t?

120: A (100) - Si és SiO2 maratási sebességének koncentrációja és hőmérsékletfüggő szelektivitása TMAH-ban (bal oldali grafikon) és KOH-ban (jobb grafikon). A TMAH-ban a Si és SiO2 marási sebessége különböző TMAH-koncentrációk mellett éri el a maximumot, ezért arányuk helyi minimumot mutat.

Mi a HF funkciója a szilícium maratási folyamatában?

A HF-CrO3 maratórendszert széles körben használják hibaérzékeny maratáshoz és a különböző adalékkoncentrációjú szilíciumrétegek közötti csomópontok lehatárolásához . 246 387 A szilícium maratási sebessége a tiszta HF oldatban nagyon alacsony az OCP-n lévő lyukak hiánya miatt.

A HF maratja a SiO2-t?

A SiO2 nagyon „szelektív” vegyszere – azaz egyáltalán nem marja a szilíciumot – a hidrogén-fluorsav (HF).

Mik az elektrokémiai maratás előnyei és hátrányai?

Az elektrokémiai maratás előnye, hogy a maratott pályák mérete igen nagy, akár több száz mikrométerig is, amelyek optikai mikroszkóppal vagy pályakép-analizátorral könnyen letapogathatók, vagy akár szabad szemmel is láthatók. Hátránya, hogy a nyomsűrűségnek ~10 ⁵ cm ^{− 2} -nél kisebbnek kell lennie .

A plazmamarás és a szárazmaratás ugyanaz?

A plazmakezelésnek több módja is létezik, de a maratásnak két fő típusa van. Az egyik a nedves maratás, a második a száraz maratás , más néven plazmamaratás vagy egyszerűen plazmamarás. Ha vegyszert vagy maratószert használnak a szubsztrátum anyagának eltávolítására a maratási folyamat során, azt nedves maratásnak nevezik.

Miért van szükség maratásra?

A maratással szelektív kémiai támadás révén feltárják a fém mikroszerkezetét . Eltávolítja a csiszolás és polírozás során keletkezett vékony, erősen deformálódott réteget is. Az egynél több fázisú ötvözetek esetében a maratás kontrasztot hoz létre a különböző régiók között a domborzati vagy tükrözési különbségek révén.

Melyek a különböző maratási típusok?

Mi az a mikromarattás?

Egy természetes fog felületének érdesítése vagy egy fogpótlás , valószínűleg a fém korona belsejében vagy a fém korona arcoldalán, hogy előkészítsék a javításra, finom csiszolóanyag gázhajtású sugár segítségével.

Mi az a nedves maratás a MEMS-ben?

A nedves maratás az anyag szisztematikus szándékos eltávolítása folyékony maratószerrel , amelyet általában egy fedő fotoreziszt maszk (egy exponált és kifejlesztett fényérzékeny polimer) vagy egy kemény maszk (mintás, maratásra ellenálló anyag) kialakítása előz meg.

Mi a különbség a kémiailag reaktív ionmaratás és a száraz plazmamarás között?

A legszembetűnőbb különbség a reaktív ionos marás és az izotróp plazmamarás között a maratási irány . Míg a RIE sokkal erősebb etch-et biztosít, de irányított etch-et is biztosít. A plazma lefelé haladva, szinte oldalirányú marás nélkül marat.