Miért van szükségünk szilicidre?
Pontszám: 4,9/5 ( 11 szavazat )Az alacsony ellenállású NiSi képződés, az alacsony feldolgozási hőmérséklet és az alacsony szilíciumfogyasztás miatt a nikkel-szilicidképződés a CMOS-eszközök kulcsfontosságú technológiája. Az oxidációs problémák miatt érdekes a Ti-vel való lezárás, valamint a Ti-vel és más oxigénmegkötő elemekkel való ötvözés.
Mi a szalicid eljárás fő előnye?
Ezeknek a szilicideknek viszonylag alacsony az ellenállása és jó a magas hőmérséklet-stabilitásuk. Az önbeálló szilicid (szalicid) eljárást széles körben használják integrált áramkörökben a poliszilícium kapu ellenállásának és a forrás/lefolyó érintkezési ellenállásának csökkentésére . Az önbeálló szilicid technológia számos előnnyel rendelkezik.
Mi az a szilicid?
A szilicid ( szilícium és fém vegyülete ) kapukon (poliszilícium), forrásokon és lefolyókon (Si wafer) képződik három MOS tranzisztor elektródaként, hogy csökkentse az érintkezési ellenállást a később kialakítandó fém huzalozási rétegekkel. Ez a szilicidképződés az egyes elektródák ellenállását is csökkenti.
Mi a szilicidképződés?
A szilicidképzési technika, amelyben a tűzálló fémet közvetlenül szilícium felületre viszik fel, hogy kialakítsák a szükséges szilicidréteget, közvetlen metallurgiai reakciót alkalmaznak. ... Egy ilyen kohászati reakcióban általában a fémben gazdag szilicidek keletkeznek először, és tovább nőnek, amíg az összes fém el nem fogy.
Mi a szilicid diffúzió?
Általában a szilicid rétegek gyors diffúziós útvonalak a szilícium ponthibáinak és más kémiai elemeknek . A szilicid anyagok más félvezető anyagokhoz képest eltérő lineáris hőtágulási együtthatói miatt a hőkezelés során feszültség keletkezik.
Tűz és láng 41 - Szilán magnézium-szilicidből
Mi az a szilicid ellenállás?
A szalicid kifejezés a mikroelektronikai iparban használt technológiára utal, amelyet a félvezető eszköz és a tartó összekötő szerkezet közötti elektromos érintkezések kialakítására használnak. ... A „szalicid” kifejezés az önbeálló szilicid kifejezés tömörítése.
Mi az a szalicidáció?
Absztrakt. Az önbeállított szilicidálás egy jól ismert eljárás a szubmikron fém-oxid-félvezető eszközök forrás-, lefolyás- és kapuellenállásának csökkentésére .
Mi az a poli ellenállás?
A poli ellenállások poli rétegből készülnek . A poliellenállások általában sokkal nagyobb lemezellenállással rendelkeznek, mint a diffúziós ellenállások.
A szilícium nem fém?
De a szénnel ellentétben a szilícium egy metalloid – valójában ez a leggyakoribb metalloid a Földön. A "metallioid" kifejezés azokra az elemekre vonatkozik, amelyek jobban vezetik az elektronáramlást – az elektromosságot –, mint a nemfémek, de nem olyan jól, mint a fémek.
Mi a szilicid lemezellenállás értéke?
A lerakott 14 nm vastag Ni-réteg lemezellenállása 24,8Ω∕sq , a 7nm-es Ni-rétegé 73Ω∕sq volt, amelyből 34,7 és 51,1 μΩcm ellenállásértékeket számítottunk.
A nátrium reagál a szilíciummal?
A nátrium-szilicid (NaSi, Na 4 Si 4 ) egy bináris szervetlen vegyület, amely nátriumból és szilíciumból áll. Szilárd fekete vagy szürke kristályos anyag. A nátrium-szilicid könnyen reagál vízzel, így gáz halmazállapotú hidrogént és vizes nátrium-szilikátot ad egy exoterm reakcióban (~175 kJ·mol − 1 ): 2 NaSi + 5 H 2 O → 5 H 2 + Na 2 Si 2 O.
A szilícium oxid?
A szilícium-dioxid, más néven szilícium-dioxid egy SiO 2 kémiai képletű szilícium-oxid, amely a természetben leggyakrabban kvarcként és különféle élő szervezetekben fordul elő. A világ számos részén a szilícium-dioxid a homok fő alkotóeleme.
A poliszilícium vezetőképes?
A poliszilíciumnak számos alkalmazása van a VLSI gyártásban. Egyik elsődleges felhasználási területe MOS-eszközök kapuelektróda-anyaga. ... A poliszilícium használható ellenállásként, vezetőként vagy ohmos érintkezőként sekély csomópontokhoz, a kívánt elektromos vezetőképesség a poliszilícium anyag adalékolásával érhető el.
Mi az a diffúz ellenállás?
A diffúz ellenállások olyan ellenállások, amelyeket p-típusú diffúzióval állítanak elő egy n-típusú háttérbe , ami általában az alapdiffúzióval egyidejűleg történik. Az alapdiffúzió lemezellenállása általában 100-200 ohm négyzetenként.
Mi a különbség a kútellenállás diffúziós ellenállása és a poliszilícium ellenállás között?
A diffúziós ellenállások általában pozitív hőmérsékleti együtthatóval rendelkeznek. A kútellenállások hőmérsékleti együtthatója 1500 és 2500 ppm között van. A poliszilícium ellenállásoknak viszont két különböző típusa van. ... Az ilyen típusú ellenállások hőmérsékleti együtthatója általában -10 és 10 ppm között van.
Mi az a szilicid réteg?
A vékonyrétegű szilicid rétegeket ohmos érintkezőkként, összekötőkként és Schottky-gátként használják mikroelektronikai eszközök integrált áramköreihez, mivel alacsony elektromos ellenállásuk és jó kompatibilitásuk szilíciumhordozókkal a polikristályos szilíciumhoz képest.
Mi a szilicid a periódusos rendszerben?
A szilícium bináris vegyületei olyan bináris kémiai vegyületek, amelyek szilíciumot és egy másik kémiai elemet tartalmaznak. Technikailag a szilicid kifejezés minden olyan vegyületre vonatkozik, amely szilíciumot tartalmaz elektropozitívabb elemhez kötve.
A szilicid fém?
A szilicid egy olyan kémiai vegyület, amely szilíciumot és (általában) elektropozitívabb elemeket egyesít. A szilícium elektropozitívabb, mint a szén. ... A szilicidek kémiai kötései a vezetőképes fémszerű szerkezetektől a kovalens vagy ionos kötésekig terjednek.
A szilícium reakcióba lép a sós vízzel?
Igen , a szilikont nem befolyásolja hátrányosan a hosszan tartó merülés sem édes, sem sós vízben.
Reaktív a szilícium oxigénnel?
A tiszta szilícium túlságosan reakcióképes ahhoz, hogy a természetben megtalálható legyen , de gyakorlatilag minden kőzetben, valamint homokban, agyagban és talajban megtalálható, vagy oxigénnel, mint szilícium-dioxiddal (SiO 2 , szilícium-dioxid), vagy oxigénnel és más elemekkel kombinálva. pl. alumínium, magnézium, kalcium, nátrium, kálium vagy vas) szilikátként.
Miért nem lép reakcióba a szilícium vízzel?
A szilícium szabad formában soha nem található meg a természetben . Kristályos formában csak rendkívül magas hőmérsékleten reagál. A víz és a vízgőz valószínűleg csekély mértékben befolyásolja a szilícium oldhatóságát, mert gyorsan kialakul egy védő felületi szilícium-dioxid réteg.
A szilícium káros az emberre?
A szilícium elemként és minden természetes formájában nem mérgező , nevezetesen a szilícium-dioxid és a szilikátok, amelyek a legnagyobb mennyiségben fordulnak elő. ... A szilícium krónikus légúti hatásokat okozhat. A kristályos szilícium-dioxid (szilícium-dioxid) erős légúti veszélyt jelent.