Ha alacsony a marási szelektivitás, ez azt jelenti?
Pontszám: 4,5/5 ( 7 szavazat )Alacsony szelektivitásról van szó, ha két anyag viszonylag hasonló sebességgel marat . Alacsony szelektivitás esetén a maszk nem nyújt megfelelő védelmet a kérdéses anyag maratásához. Ez azt jelenti, hogy vastagabb maszkot kell használni a kívánt mélységre való maráshoz.
Milyen tényezők befolyásolják a marási sebességet?
A maratási sebességet a bombázó ionok és az energetikai semlegesek (töltésátviteli termékek) fluxusa és energiaeloszlása, míg az anizotrópiát az irányultságuk határozza meg.
Hogyan növelhetem a marási sebességet?
Fontolja meg az oxigén (O2) hozzáadását a plazmához: A C CO és CO2 gázok képződésével távolítható el, amelyek könnyen szivattyúzhatók (magasabb gőznyomás, mint a szilárd C vagy CFx gáz). Ez csökkenti a CFx gyökök képzéséhez rendelkezésre álló C mennyiségét, növelve a plazma relatív F-koncentrációját és növelve a marási sebességet.
Mi okozhatja a maratási eseményt a száraz maratással?
A kémiai száraz maratás a maratógázok közötti kémiai reakciót alkalmazza a szubsztrátum anyagának megtámadására . A gáznemű reakciótermékek feltételei ennek a maratási koncepciónak, mivel a szilárd termékek lerakódása védi a felületet és leállítja a maratási folyamatot.
Mi a maratási sebesség egyenletessége?
Az egységesség a maratással összefüggésben a konzisztencia mértéke egy adott paraméter szeletén . Az egységesség általában a maratási sebességre vonatkozik, de utalhat más maratást követő jellemzőkre is, mint például a szelektivitásra és a profilra.
34. előadás (CHE 323) Etch, 1. rész
Ha magas a marási szelektivitás, ez azt jelenti?
A nagy szelektivitás relatív kifejezés annak leírására , amikor két anyag jelentősen eltérő marási sebességgel marat a kívánt eredmény elérése érdekében . Gyakran olyan esetekre utal, amikor a maszk lassan marat, mint a maratással mintázott anyag.
Mi az a nedves maratási eljárás?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
Hol alkalmazzák a száraz maratást?
A száraz maratást jelenleg a félvezetőgyártási folyamatokban használják, mivel a nedves maratáson egyedülállóan képes anizotróp maratást (anyageltávolítást) végezni, így nagy méretarányú struktúrákat (pl. mély lyukakat vagy kondenzátorárkokat) hoz létre.
Mik a száraz maratási eljárás előnyei?
A száraz maratás néhány előnye az automatizálás képessége, a csökkentett anyagfelhasználás, az a képesség, hogy különböző maratógázokat nagyon eltérő folyamatbeállításokkal lehet felhasználni ugyanabban az eszközben , miközben a hardver idővel alig vagy egyáltalán nem változik.
Mi a különbség a nedves és a száraz maratás között?
A száraz és nedves maratás a maratási eljárások két fő típusa. Ezek a folyamatok hasznosak a felületi anyagok eltávolítására és a felületeken minták létrehozására. A fő különbség a száraz és a nedves maratás között az , hogy a száraz maratás folyékony fázisban történik, míg a nedves maratás plazmafázisban történik.
Mi az etch torzítás?
Az etch torzítás (Ebias) a DCD és az FCD közötti különbségként definiálható, amint azt a következő egyenlet szemlélteti: Ebias=DCD−FCD. Az FCD lehet kisebb (pozitív Ebias), egyenlő (semleges Ebias) vagy nagyobb (negatív Ebias), mint a DCD. Azt is megállapították, hogy az Ebias erős korrelációt mutat az irányzék kerületével.
A BOE maratja az alumíniumot?
Csak nagyon lassú ütemben támadja meg a szilíciumot és a szilícium-nitridet. Egyes fémek BOE-be marnak (titán, alumínium), mások nem (króm, arany, platina). A BOE maratást elfedheti fotoreziszttel egy rövid maratáshoz (kb. 20 perc). ... - A HF (40%) marási sebessége körülbelül 833 nm/perc 21 ˚C hőmérsékleten [4].
Hogyan történik a rézkarc?
- A rézkarc egy mélynyomatkészítési eljárás, amelynek során vonalakat vagy területeket sav segítségével bemetszenek egy fémlemezbe, hogy megtartsák a tinta. ...
- Egy tompa tollal, amelyet maratótűnek neveznek, a nyomdász finoman lekaparja a talaj egyes részeit a mintát követve, ezáltal szabaddá téve az alatta lévő fémet.
Mit jelent az etch faktor?
A maratási tényező a maratás befejezése után a jellemző legszélesebb és legkeskenyebb részének szélessége és a maratott fém vastagsága közötti különbség aránya . Ez kifejezhető százalékban az első egyenletben vagy arányban, ahogy a második egyenletben látható.
Hogyan maratod a SiO2-t?
A SiO2 marási sebessége szobahőmérsékleten ~ 700 Å/perc . Hígított HF: 25 rész H2O + 1 rész HF (49%). P-Etch: 300 rész H2O + 10 rész HNO3 (70%) + 15 rész HF (49%).
Mit csinál a plazmamarat?
A plazmamaratást a felület "érdesítésére" használják, mikroszkopikus léptékben. Az alkatrész felületét általában reaktív technológiai gázzal maratják, amely mind kémiai, mind fizikai hatást fejt ki a felületen.
Milyen két technikát használnak a maratáshoz?
Azóta számos maratási technikát fejlesztettek ki, amelyeket gyakran egymással együtt alkalmaznak: a lágy-őrölt maratáshoz nem száradó védőréteget vagy csiszolatot használnak, hogy lágyabb vonalakat hozzon létre; a kiköpött harapás során festés vagy sav fröccsenése a tányérra; nyitott harapás, amelyben a lemez területei savnak vannak kitéve, és nem ...
A plazmamarás és a szárazmaratás ugyanaz?
A plazmakezelésnek több módja is létezik, de a maratásnak két fő típusa van. Az egyik a nedves maratás, a második a száraz maratás , más néven plazmamaratás vagy egyszerűen plazmamarás. Ha vegyszert vagy maratószert használnak a szubsztrátum anyagának eltávolítására a maratási folyamat során, azt nedves maratásnak nevezik.
Melyik a tisztán fizikai maratási módszer?
A tisztán fizikai maratást (4. ábra) úgy hajtják végre, hogy erős elektromos mezőket használnak a pozitív atomi ionok (általában egy nehéz, inert elem, például az argon ionjainak) a szubsztrátum felé történő gyorsítására .
Melyik eljárást alkalmazzák a száraz maratáshoz?
Az ionsugaras maratás (IBE) egy fizikai száraz maratási eljárás. Ezáltal az argonionok körülbelül 1-3 keV-os ionsugár formájában sugároznak ki a felületre. Az ionok energiája miatt kiütik a felület anyagát. ... Ez a gáz reakcióba lép az argonionokkal, és fizikai kémiai maratási folyamatot idéz elő.
Hogyan csinálsz plazmamaratást?
A plazmamaratás a plazmafeldolgozás egyik formája, amelyet integrált áramkörök gyártására használnak. Ez magában foglalja egy megfelelő gázkeverék nagy sebességű izzító kisülését (plazma), amelyet (impulzusokban) lövelnek a mintára. A plazmaforrás, az úgynevezett etch faj, lehet töltött (ionok) vagy semleges (atomok és gyökök).
Mit használnak gáz maratására?
A maratáshoz leggyakrabban használt gázok a fluor- vagy klóralapúak . A gyakori fluor alapú gázok a CF 4 , SF 6 , CHF 3 , C 4 F 8 stb., a klór alapú gázok pedig a Cl 2 , BCl 3 , CCl 4 stb.
Mit igényel a nedves marás folyamata?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . A konkrét mintákat az ostyán lévő fotoreziszt maszkok határozzák meg. ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
Miért van szükség maratásra?
A maratással szelektív kémiai támadás révén feltárják a fém mikroszerkezetét . Eltávolítja a csiszolás és polírozás során keletkezett vékony, erősen deformálódott réteget is. Az egynél több fázisú ötvözetek esetében a maratás kontrasztot hoz létre a különböző régiók között a domborzati vagy tükrözési különbségek révén.
A Tmah maratja az üveget?
A TMAH marási sebessége 0,5 µm/perc 85 ˚C hőmérsékleten [2]. A következő felszerelést kell használni: Szemvédelem: Védőszemüveg és arcvédő szükséges.