Mit jelent a euv ?

Pontszám: 5/5 ( 31 szavazat )

Az extrém ultraibolya litográfia egy litográfiai technológia, amely extrém ultraibolya hullámhossz-tartományt használ, nagyjából 2%-os FWHM sávszélességet, körülbelül 13,5 nm-t.

Mit jelent az EUV?

Az UV-index (vagy UVI) a Nap által kibocsátott ultraibolya sugárzás szabványos nemzetközi mérőszáma - amely behatol a Föld légkörébe és leégést okozhat. ... Minél magasabb az UVI, annál nagyobb a bőr és a szem károsodásának lehetősége – és annál kevesebb időbe telik a károsodás bekövetkezése.

Miért fontos az EUV?

Az EUV (Extreme Ultraviolet) litográfia rendkívül rövid, 13,5 nm hullámhosszú EUV fényt használ. Lehetővé teszi olyan finom áramköri minták exponálását 20 nm alatti osztásközzel , amelyeket a hagyományos optikai litográfiával, ArF excimer lézerrel nem lehet megvilágítani.

Mi az EUV maszk?

Az EUV fotomaszk egy mintás fényvisszaverő maszk, amelyet EUV fotolitográfiához használnak . A Toppannál úttörő szerepet játszottunk ezeknek az irányzékoknak a kereskedelmi forgalomba hozatalában, amikortól 2005-ben bemutatták az első teljes körű EUV Litho eszközt.

Hol használják az EUV-t?

2020-tól a Samsung és a TSMC az egyetlen olyan vállalat, amely az EUV-t használta a gyártás során, főként az 5 nm-t megcélozva. Az IEDM 2019-en a TSMC arról számolt be, hogy 5 nm-es EUV-t használnak érintkezésben, átmenőben, fémvonalakban és vágott rétegekben, ahol a vágásokat lamellákra, kapukra vagy fémvonalakra lehet alkalmazni.

The Whiteboard Session | "Mit jelent az EUV a rendszeroptikára?" Scott Middlebrooksszal

38 kapcsolódó kérdés található

Mennyibe kerül egy EUV szerszám?

Egy EUV gép több mint 100 000 alkatrészből készül, körülbelül 120 millió dollárba kerül, és 40 konténerben szállítják.

Mi lesz az EUV után?

Az EUV-n túlmenő következő generációs litográfia jelöltjei közé tartozik a röntgensugaras litográfia, az elektronsugaras litográfia, a fókuszált ionsugaras litográfia és a nanoimprint litográfia . Ezek közül a technológiák közül többnek is volt népszerűsége, de a fotolitográfia folyamatos fejlesztése miatt továbbra is versenytársaik maradtak.

Mik azok az EUV eszközök?

A fejlett gyártmányokban használt EUV egy óriási és drága litográfiai szkennert foglal magában, amely 13,5 nm-es hullámhosszon mintázza meg a chipek apró jellemzőit. Az EUV egyike a chipméretezésben használt számos nagyszerű eszköznek. Ez az a hely, ahol az egyes csomópontokon különböző chip-funkciókat zsugoríthat, és egy monolitikus szerszámra pakolhatja őket.

Ki készíti az EUV eszközöket?

A TSMC Extreme Ultraviolet (EUV) eszközei várhatóan elérik a gyártási érettséget, az eszközök rendelkezésre állása pedig már eléri a nagy volumenű gyártás célcélját, a napi működéshez pedig 250 wattnál nagyobb kimeneti teljesítmény.

Mi az EUV jármű?

A Chevrolet 2022-re bővítette elektromos járműkínálatát az SUV-ihlette Bolt EUV ( Electric Utility Vehicle ) bevezetésével, amely a Bolt ferdehátúnál tágasabb utasteret és masszívabb külsőt kínál.

Mi az a DUV litográfia?

A mély-UV litográfia (röviden: DUV litográfia) egy optikai vetítés típusú litográfia . olyan technika, ahol az irányzékon/maszkon lévő mintát egy 4X vagy 5X optikai rendszeren keresztül vetítik az ostya felületére . A DUV litográfiához használt hullámhosszok 248 nm vagy 193 nm.

Hogyan jön létre az EUV?

Az EUV fotonok rövid impulzusú, nagyáramú elektromos kisülésekkel állíthatók elő megfelelő gázban , például xenonban.

Mi az EUV hullámhossz?

A 11–14 nm tartományba eső hullámhosszak az elektromágneses spektrum szélsőséges ultraibolya (EUV) vagy lágy röntgensugaras részében vannak, ezért az ilyen hullámhosszú litográfiát EUV litográfiának nevezik.

Mi a magas EUV?

Magas NA EUV. Az ASML új generációs EUV platformot fejleszt, amely a numerikus rekesznyílást 0,33 NA-ról 0,55 -re ("High-NA") növeli. Ez a platform új optika kialakítással és lényegesen gyorsabb fokozatokkal rendelkezik.

Mi van az EUV-n kívül?

A λ = 6 , x nm használata, amelyet Beyond EUV (BEUV) néven alkottak meg, a legszembetűnőbb jelölt még kisebb jellemzők mintázására 1 , 2 fotonok segítségével. Ezt a specifikus hullámhossz-tartományt az ipar javasolja, mert potenciálisan megfelelhet a fényforrás, valamint a fényvisszaverő és képalkotó optika követelményeinek 7 .

Az Intel EUV-t használ?

Az Intel egy kicsit le van maradva, különösen azért, mert a piacon lévő Intel egyik terméke sem használ EUV -t. Az EUV csak az Intel portfólióját fogja lefoglalni az új Intel 4 folyamatával, ahol széles körben használják majd, főleg a BEOL-on.

Készíthet-e Kína EUV-t?

A becslések szerint Kína kevesebb mint három éven belül, az EUV területén pedig kevesebb mint öt éven belül kulcsfontosságú áttörést tud elérni a mélyibolyántúli (DUV) litográfiai rendszerek fejlesztésében.

Hogyan készülnek az EUV maszkok?

Ezzel szemben az EUV maszk 40-50 váltakozó réteg szilíciumból és molibdénből áll egy hordozó tetején , ami többrétegű köteget eredményez. A rakaton egy ruténium alapú fedőréteg, majd egy tantál alapú abszorber található. Az ipar készíthet EUV-maszkokat, de a maszkhibák problémát okozhatnak.

Milyen kicsi lehet az EUV?

Az EUV litográfia lehetővé tette a Samsung és a Taiwan Semiconductor Manufacturing Co (TSMC) számára, hogy tovább csökkentsék tranzisztoraikat, és megkezdődjenek az 5 nm-es csomópont mennyiségi gyártása. Ez hihetetlenül kicsi, mivel csak 10 szilícium atom fér el egy 5 nm-es térben.

Hogyan működik az ASML EUV?

Extrém ultraibolya (EUV) fényt használ 13,5 nm-es hullámhosszon, hogy néhány nanométeres méretű szilícium-elemeket készítsen a holnap memóriachipjein és processzorain . A több mint 100 000 alkatrészből álló EUV litográfiai rendszer a valaha épített egyik legösszetettebb gép.

Ki az ASML tulajdonosa?

Manapság ez egy nyilvános társaság, amely a Philips részvényeinek csak kisebb részét birtokolja. Amikor a cég 1988-ban függetlenné vált, úgy döntöttek, hogy a névváltoztatás nem kívánatos, és az ASML rövidítés lett a hivatalos cégnév.

Mi az EUV vs EV?

A Bolt EV-nél valamivel nagyobb karosszériával a Bolt EUV úgy néz ki, mint egy SUV. A Bolt EUV 6,3 hüvelykkel hosszabb, és 3,1 hüvelykkel több hátsó lábteret kínál, mint a Bolt EV.

Hogyan keres pénzt az ASML?

A világ vezető chipgyártóinak keresletétől elárasztva az ASML olyan gyorsan keres pénzt félvezetőgyártó berendezései eladásából, hogy úgy tűnik, nem tudja elég gyorsan elkölteni.

Melyek a litográfia típusai?

A litográfia típusai:
  • Elektronsugaras litográfia.
  • Ionsugaras litográfia.
  • Ionpályás litográfia.
  • röntgen litográfia.
  • Nanoimprint litográfia.
  • Extrém ultraibolya litográfia.