Miért olyan nehéz az EUV?

Manapság az EUV apró részleteket tud nyomtatni egy lapkára, de a nagy probléma az áramforrás – nem termel elegendő energiát ahhoz, hogy az EUV szkenner elég gyorsan működjön, vagy gazdaságosan megvalósítható legyen. Valójában több késés is előfordult a forrással kapcsolatban, ami miatt az EUV egyik csomópontról a másikra tolódott.

Miért van szükségünk EUV-re?

Az EUV (Extreme Ultraviolet) litográfia rendkívül rövid, 13,5 nm hullámhosszú EUV fényt használ. Lehetővé teszi olyan finom áramköri minták exponálását 20 nm alatti osztásközzel , amelyeket a hagyományos optikai litográfiával, ArF excimer lézerrel nem lehet megvilágítani.

Miért fontos az EUV litográfia?

Az EUV fényforrás alkalmazása lehetővé teszi a korábbi módszereknél finomabb és sűrűbb minták meghatározását rövidebb hullámhossza miatt , ami elengedhetetlen, mivel a fény nem képes közvetlenül meghatározni a saját hullámhosszánál kisebb jellemzőket.

Hol használják az EUV-t?

2020-tól a Samsung és a TSMC az egyetlen olyan vállalat, amely az EUV-t használta a gyártás során, főként az 5 nm-t megcélozva. Az IEDM 2019-en a TSMC arról számolt be, hogy 5 nm-es EUV-t használnak érintkezésben, átmenőben, fémvonalakban és vágott rétegekben, ahol a vágásokat lamellákra, kapukra vagy fémvonalakra lehet alkalmazni.

Mi lesz az EUV után?

Az EUV-n túlmenő következő generációs litográfia jelöltjei közé tartozik a röntgensugaras litográfia, az elektronsugaras litográfia, a fókuszált ionsugaras litográfia és a nanoimprint litográfia . Ezek közül a technológiák közül többnek is volt népszerűsége, de a fotolitográfia folyamatos fejlesztése miatt továbbra is versenytársaik maradtak.

Mik azok az EUV eszközök?

A fejlett gyártmányokban használt EUV egy óriási és drága litográfiai szkennert foglal magában, amely 13,5 nm-es hullámhosszon mintázza meg a chipek apró jellemzőit. Az EUV egyike a chipméretezésben használt számos nagyszerű eszköznek. Ez az a hely, ahol az egyes csomópontokon különböző chip-funkciókat zsugoríthat, és egy monolitikus szerszámra pakolhatja őket.

Ki készíti az EUV eszközöket?

A TSMC Extreme Ultraviolet (EUV) eszközei várhatóan elérik a gyártási érettséget, az eszközök rendelkezésre állása pedig már eléri a nagy volumenű gyártás célcélját, a napi működéshez pedig 250 wattnál nagyobb kimeneti teljesítmény.

Mi az EUV berendezés?

Az ASML 1999-ben csatlakozott, és a litográfiai technológia vezető gyártójaként az első EUV gépek kifejlesztésére törekedett. Az extrém ultraibolya litográfia vagy röviden EUV sokkal rövidebb hullámhosszú fény (13,5 nanométer) alkalmazását teszi lehetővé, mint a mély ultraibolya, a korábbi litográfiai módszer (193 nanométer).

Mennyibe kerül egy EUV szerszám?

Egy EUV gép több mint 100 000 alkatrészből készül, körülbelül 120 millió dollárba kerül, és 40 konténerben szállítják.

Mennyibe kerül egy EUV gép?

Az eszköz, amelynek fejlesztése évtizedekig tartott, és 2017-ben került bevezetésre a nagy volumenű gyártásban, több mint 150 millió dollárba kerül . Az ügyfelekhez való szállításhoz 40 szállítókonténerre, 20 teherautóra és három Boeing 747-re van szükség.

Mi az EUV jármű?

A Chevrolet 2022-re bővítette elektromos járműkínálatát az SUV-ihlette Bolt EUV ( Electric Utility Vehicle ) bevezetésével, amely a Bolt ferdehátúnál tágasabb utasteret és masszívabb külsőt kínál.

Hogyan működik az EUV gép?

Az EUV rendszer nagy energiájú lézert használ, amely egy mikroszkopikus méretű olvadt óncseppre tüzel, és azt plazmává alakítja , amely EUV fényt bocsát ki, amelyet azután sugárba fókuszálnak.

Az Intel EUV-t használ?

Az Intel egy kicsit le van maradva, különösen azért, mert a piacon lévő Intel egyik terméke sem használ EUV -t. Az EUV csak az Intel portfólióját fogja lefoglalni az új Intel 4 folyamatával, ahol széles körben használják majd, főleg a BEOL-on.

Mi az a litográfiai technológia?

A litográfiai rendszer lényegében egy vetítési rendszer . A fényt a nyomtatandó minta tervrajzán keresztül vetítik ki ("maszkként" vagy "keresztül"). A terv négyszer nagyobb, mint a chip tervezett mintája.

Miből készülnek a litográfiák?

A nyomtatás kőből (litográfiai mészkő) vagy sima felületű fémlemezből készül . 1796-ban Alois Senefelder német író és színész találta fel, mint olcsó módszert a színházi művek kiadására. A litográfiával szöveget vagy grafikát nyomtathatunk papírra vagy más alkalmas anyagra.

Készíthet-e Kína EUV-t?

A becslések szerint Kína kevesebb mint három éven belül, az EUV területén pedig kevesebb mint öt éven belül kulcsfontosságú áttörést tud elérni a mélyibolyántúli (DUV) litográfiai rendszerek fejlesztésében.

Kik az ASML ügyfelek?

Az ASML a piac mintegy 90%-át ellenőrzi, így a félvezetőipar döntő fontosságú fogaskereke, és legfőbb ügyfelei közé tartoznak a világ vezető öntödéi: a Taiwan Semiconductor Manufacturing (NYSE: TSM), az Intel (NASDAQ: INTC) és a Samsung .

Mi az az EUV szkenner?

Az extrém ultraibolya (EUV) litográfia egy lágy röntgen technológia, amelynek hullámhossza 13,5 nm. A mai EUV szkennerek akár 22 nm-es félosztásos felbontást tesznek lehetővé. Egy rendszerben az EUV fényforrás nagy teljesítményű lézert használ plazma létrehozásához.

Mely cégek használják az EUV-t?