Hogyan működik a fotolitográfia?
Pontszám: 5/5 ( 75 szavazat )A fotolitográfia három alapvető eljárási lépést használ a minta maszkról ostyára történő átvitelére : bevonat, előhívás, exponálás. A minta egy következő folyamat során kerül át az ostya felületi rétegébe. Egyes esetekben a reziszt minta használható a felvitt vékony film mintájának meghatározására is.
Mi a fotolitográfia Hogyan működik?
A fotolitográfia egy olyan mintázati eljárás, amelynek során egy fényérzékeny polimert szelektíven sugároznak fénynek egy maszkon keresztül , ami látens képet hagy a polimerben, amelyet azután szelektíven fel lehet oldani, hogy mintás hozzáférést biztosítsanak az alatta lévő hordozóhoz.
Miért használják a fotolitográfiát?
A fotolitográfia az egyik legfontosabb és legegyszerűbb mikrogyártási módszer, amelyet részletes minták létrehozására használnak az anyagokban . Ennél a módszernél egy formát vagy mintát lehet maratni egy fényérzékeny polimer ultraibolya fénynek való szelektív expozíciójával.
Miért használják az UV fényt a fotolitográfiában?
A fotolitográfia lehetővé teszi a sejtek 3D kapszulázását a hidrogéleken belül a sejttartalmú prepolimer UV fény alatt történő térhálósításával . A kívánt minta eléréséhez egy fotómaszkot használnak [88].
Mik a fotolitográfiai követelmények?
A fotolitográfiás eljáráshoz általában három alapanyagra van szükség: fényforrásra, fotómaszkra és fotorezisztre . A fotorezisztnek, egy fényérzékeny anyagnak két típusa van, pozitív és negatív. A pozitív fotoreziszt jobban oldódik a fényforrás hatására.