A hf etch gaas?
Pontszám: 4,5/5 ( 12 szavazat )A fő különbség a HCl és a HF között az, hogy a HCl csak a felületet passziválja, míg a HF nemcsak passziválja a felületet, hanem lassan maratja a tömeges GaAs-t .
Mit mar a HF?
A HF maratás a nedves maratás egyik formája, amely hidrogén-fluoridot használ a felületek maratására, nem pedig száraz plazma eljárást. A HF maratással olyan anyagokat lehet maratni, mint az amorf szilícium-dioxid; kvarc és üveg nagyon magas marási sebességgel.
A HF maratja az alumínium-oxidot?
17 A 2. ábra azt mutatja, hogy a maratási sebességek közel önkorlátozó értékeket érnek el magasabb HF nyomáson. Az Al2O3 marási sebessége körülbelül 1,45 , 2,30 és 2,50 Å/ciklus 200, 250 és 300 °C-on magasabb, 6 és 8 Torr közötti HF nyomásokon. hasonló a szilícium felületek oxidációjához.
A HF maratja az ezüstöt?
Ebben a cikkben egyetlen maszkolófólia alkalmazásáról számolunk be az üveg hidrogén-fluoridos (HF) mélymaratásához. A vékonyréteg-ezüst (Ag) a legfontosabb maszkolóanyag ebben a munkában, amely lehetővé teszi a mikrofluidikus szerkezetek egyszerű és olcsó előállítását. ... Az Ag film azonban nem reagál a HF-el .
A HF maratja a volfrámot?
A HF arányának növelése az oldatban növeli a marási sebességet . Az ebben az oldatban maratott titán fotoreziszttel takarható. HF ebben az oldatban. ... Fotoreziszttel mintázható, nem támadja meg észrevehető mértékben az oxidot vagy a nitridet, és 340 km-en maratja a volfrámot).
Nedves pad: szilícium-oxid maratás hidrogén-fluorsavval
A HF aranyat marat?
Csak nagyon lassú ütemben támadja meg a szilíciumot és a szilícium-nitridet. Egyes fémek BOE-be marnak (titán, alumínium), mások nem (króm, arany, platina).
A piranha aranyat mar?
Ha piranhát fog használni, legyen óvatos, mert a friss és forró piranha károsíthatja az aranyréteget . A 40°C-os forró piranhánál egy perc elegendő a fotoreziszt eltávolításához, vagy kipróbálhatja az 50-60°C-os forró dimetil-szulfoxidot is ultrahanggal.
Mi az a nedves maratási eljárás?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
Meg tudod maratni a Chrome-ot?
Minden válasz (13) A króm 6 tömegszázalék salétromsavval és 16 tömegszázalék cérium-ammónium-nitráttal maratható vízben.
Meg lehet maratni a sárgaréz sósavval?
A sárgaréz rézötvözet, és gyönyörűen marat vas-kloriddal. Az 50/50 arányú hidrogén-peroxid és sósav (más néven medencesav, azaz sósav) házi készítésű oldatával is szépen marat.
A HF maratja a TiO2-t?
A kvarckristály mikromérlegvizsgálatok kimutatták, hogy a HF spontán módon képes lemarni a TiO2 filmeket . Spektroszkópos ellipszometria és röntgensugár-reflexiós analízis kimutatta, hogy a TiN filmek lineárisan maratottak az ALE ciklusok számához képest, reaktánsként O3 és HF felhasználásával.
A piranha rezet marja?
Ezekkel az oldatokkal a maratást fokozhatjuk, ha levegős vagy oxigénes vízzel készítjük, vagy vas(III)-klorid hozzáadásával a lyukképződés elősegítésére. A " piranha" megoldás minden bizonnyal rezet marna .
A HCL marat fotoreziszt?
A sósav hasonló, nem kritikus közeg a fotoreziszt maszkokhoz . Fluorsavval történő maratáskor figyelembe veszik a fotoreziszt rétegekben való áteresztőképességüket.
A BOE maratja az Al2O3-at?
De számomra a 2%-os BOE (pufferelt oxid maratási ~ HF) elég lassú maratási sebességgel rendelkezett (0,1 nm/s) ahhoz, hogy az ALD-vel növesztett Al2O3 jól kontrollált stabil maratást kapjon, és érintetlenül hagyja a Si szeletet. A H3PO4 vagy az AZ400K túl agresszív volt.
Miért használják a HF-et üveg maratására?
A HF-t (hidrogén-fluorid) azért használják az üveg maratására, mert erős kötés képződik az üvegben jelen lévő fluorid anionok és szilíciummolekulák között .
A BOE fotorezisztens?
Bár a BOE nagyon szelektív maratószer (szilícium kontra szilícium-dioxid), hajlamos megtámadni a fotoreziszt . Tehát a jó maratási eredmény érdekében a fotoreziszt felületet jól előkészítettnek és megfelelő vastagságúnak kell lennie. A BOE maratásának alternatív maszkolóanyaga lehet szilícium-nitrid.
Meg tudod maratni a Prime-ot Chrome-on?
Az átlagosan magas építésű Automotive Primerek és még az Etch Primerek sem tapadnak meg a króm felületekhez . Mint mindig, ügyeljen a megfelelő védőfelszerelés viselésére, mert ezek az alapozók rendkívül veszélyesek az egészségre, különösen a krómozott epoxi alapozók.
Tudod maratni a krómozást?
A maratást a felület „érdesítése” érdekében végezzük, hogy a króm jobban tapadjon az alapanyaghoz. A maratáshoz külön tartályt kell használni. A bevonatfürdő maratási tartályként való használata nem tekinthető bevált gyakorlatnak.
Az epoxi tapad a Chrome-hoz?
A kétkomponensű epoxi ragasztók, amelyekben két tubusból összekeverik a kívánt ragasztóanyagot, jól működnek a króm és a króm ragasztásánál. A szilikon ragasztók a fémek fémhez való ragasztására is használhatók.
Mik a nedves maratás hátrányai?
Nedves vegyi maratás: Előnyök: Olcsó, szinte károsodásmentes a tisztán kémiai természet miatt, erősen szelektív Hátrányok: rossz anizotrópia, rossz folyamatszabályozás (hőmérsékletérzékenység), rossz részecskeszabályozás, magas vegyszeres ártalmatlanítási költségek , nehezen használható kis jellemzőkkel (buborékok, stb...).
Mi a különbség a száraz és a nedves maratás között?
A száraz és nedves maratás a maratási eljárások két fő típusa. Ezek a folyamatok hasznosak a felületi anyagok eltávolítására és a felületeken minták létrehozására. A fő különbség a száraz és a nedves maratás között az , hogy a száraz maratás folyékony fázisban történik, míg a nedves maratás plazmafázisban történik.
Hol alkalmazzák a száraz maratást?
A száraz maratást jelenleg a félvezetőgyártási folyamatokban használják, mivel a nedves maratáson egyedülállóan képes anizotróp maratást (anyageltávolítást) végezni, így nagy méretarányú struktúrákat (pl. mély lyukakat vagy kondenzátorárkokat) hoz létre.
A piranha marja a titánt?
Kimutatták , hogy a piranha széntartalmú anyagokkal reagál , és eltávolítja a felesleges szenet a titán felületéről. Azt is kimutatták, hogy reagál a titánnal, maratja a felületet és nagyobb felületet termel (Ref.
A piranha kimarja a SiO2-t?
Ha egy minta nagy mennyiségű szerves szennyeződést tartalmaz (pl. fotoreziszt), a piranhák marása oldhatatlan szerves réteget képez, amelyet nem lehet eltávolítani. ... Egy másik fontos tényező, hogy az RCA1 lépés eltávolítja a legtöbb szilícium lapkához erősen kötődő részecskét az alatta lévő Si/SiO2 maratásával.
A piranha oldat feloldja az aranyat?
Az Aqua regia jelentése "királyi víz", mivel ez a sósav és salétromsav keverék képes feloldani a nemesfémeket, például az aranyat és a platinát. Egyik sav sem képes önmagában feloldani ezeket a fémeket. Piranha-oldat vagy Caro-sav (H2SO5): ... Ma ezt a savat az elektronikai iparban használják főként.