Nedves vegyi maratással?
Pontszám: 5/5 ( 75 szavazat )A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . A konkrét mintákat az ostyán lévő fotoreziszt maszkok határozzák meg. Azokat az anyagokat, amelyeket nem véd ez a maszk, folyékony vegyszerek marják le.
Hol alkalmazzák a nedves maratást?
Nedves maratással lehet teljesen eltávolítani egy vékony filmet (takaró marás) , vagy ha a mintákat olyan anyaggal takarják, amelyet nem támad meg a maratószer, akkor egy minta maratására használható az anyagba.
Mi a nedves marás folyamatának első mechanizmusa?
A nedves-kémiai maratás első reakciólépése a maratandó közeg oxidációja . Ez történhet komplexképzéssel vagy a maratási keverékben lévő komponensek oxidálásával, amelyhez gyakran hidrogén-peroxidot vagy salétromsavat használnak.
Melyek a nedves maratással kapcsolatos problémák?
A nedves maratáshoz azonban több probléma is társul. A maratóközeg mechanikai felrázása és a gázbuborékok képződése miatt a fotoreziszt réteg tapadása sérülhet , és leválik az aljzatról. ... A HF átdiffundálhat a fotoreziszt rétegen és gyengítheti a tapadást.
Mi a különbség a nedves kémiai maratás és a száraz kémiai maratás között?
A száraz és nedves maratás a maratási eljárások két fő típusa. Ezek a folyamatok hasznosak a felületi anyagok eltávolítására és a felületeken minták létrehozására. A fő különbség a száraz és a nedves maratás között az , hogy a száraz maratás folyékony fázisban történik, míg a nedves maratás plazmafázisban történik.
Kémiai maratási folyamat videó
Mi az a nedves maratási eljárás?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
A száraz maratás anizotróp?
A száraz maratás általában egy anizotróp folyamat , amelyben a szubsztrát felé felgyorsuló ionfajták lendületét maszkolási eljárással kombinálva a célanyagok fizikai eltávolítására és maratására használják fel.
Miért jobb a permetező maratás, mint a merítő maratás?
A permetező maratás egy új megközelítés, és jó jelölt a merítési maratás helyettesítésére, mivel reprodukálható egyenletességet, maratási időt és számítógépes automatizálást kínál ; és alkalmas a 6-os generációnál nagyobb hordozóméretű TFT LCD-gyártásra.
Mit igényel a nedves marás folyamata?
A nedves maratás olyan anyageltávolítási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról . A konkrét mintákat az ostyán lévő fotoreziszt maszkok határozzák meg. ... (2) A folyékony maratószer és a maratandó anyag közötti reakció. Általában redukciós-oxidációs (redox) reakció megy végbe.
Miért részesítik előnyben a száraz maratot a nedves maratással szemben?
A száraz maratás néhány előnye az automatizálás képessége, a csökkentett anyagfelhasználás , az a képesség, hogy különböző maratógázokat nagyon eltérő folyamatbeállításokkal lehet felhasználni ugyanabban az eszközben anélkül, hogy az idő múlásával a hardver megváltozna, vagy egyáltalán nem változik.
Milyen két technikát használnak a maratáshoz?
Azóta számos maratási technikát fejlesztettek ki, amelyeket gyakran egymással együtt alkalmaznak: a lágy-őrölt maratáshoz nem száradó védőréteget vagy csiszolatot használnak, hogy lágyabb vonalakat hozzon létre; a kiköpött harapás során festés vagy sav fröccsenése a tányérra; nyitott harapás, amelyben a lemez területei savnak vannak kitéve, és nem ...
Melyek a maratási típusok?
- Nedves maratás, ahol az anyag kémiai oldatba merítve feloldódik.
- Száraz maratás, ahol az anyagot reaktív ionokkal vagy gőzfázisú maratószerrel porlasztják vagy oldják.
Mik a maratás lépései?
- Karcolja be képét vagy dizájnját a lemez felületébe.
- Vigye fel a színt tintával a maratott felületre.
- Törölje le a felületet úgy, hogy csak a karcolt területeken összegyűlt tinta maradjon meg.
- Óvatosan helyezzen papírt a tintával ellátott lap tetejére.
A Tmah maratja az üveget?
A TMAH marási sebessége 0,5 µm/perc 85 ˚C hőmérsékleten [2]. A következő felszerelést kell használni: Szemvédelem: Védőszemüveg és arcvédő szükséges.
A plazmamarás és a szárazmaratás ugyanaz?
A plazmakezelésnek több módja is létezik, de a maratásnak két fő típusa van. Az egyik a nedves maratás, a második a száraz maratás , más néven plazmamaratás vagy egyszerűen plazmamarás. Ha vegyszert vagy maratószert használnak a szubsztrátum anyagának eltávolítására a maratási folyamat során, azt nedves maratásnak nevezik.
Miért van szükség maratásra?
A maratással szelektív kémiai támadás révén feltárják a fém mikroszerkezetét . Eltávolítja a csiszolás és polírozás során keletkezett vékony, erősen deformálódott réteget is. Az egynél több fázisú ötvözetek esetében a maratás kontrasztot hoz létre a különböző régiók között a domborzati vagy tükrözési különbségek révén.
Ha magas a marási szelektivitás, ez azt jelenti?
A nagy szelektivitás relatív kifejezés annak leírására , amikor két anyag jelentősen eltérő marási sebességgel marat a kívánt eredmény elérése érdekében . Gyakran olyan esetekre utal, amikor a maszk lassan marat, mint a maratással mintázott anyag.
Melyik a tisztán fizikai maratási módszer?
A tisztán fizikai maratást (4. ábra) úgy hajtják végre, hogy erős elektromos mezőket használnak a pozitív atomi ionok (általában egy nehéz, inert elem, például az argon ionjainak) a szubsztrátum felé történő gyorsítására .
Mi az a szilícium maratás?
BEVEZETÉS. A rézkarc e könyv kontextusában azokra az oldódási folyamatokra vonatkozik, amelyek egyenletesen vagy előnyösen eltávolítják az anyagot az oldatba merített szilíciumkristályokból . A szilícium maratását széles körben kutatták az elektronikai eszközök gyártásában való hasznos alkalmazásai miatt.
Mik a nedves maratás előnyei és hátrányai?
Nedves vegyi maratás: Előnyök: Olcsó, szinte károsodásmentes a tisztán kémiai természet miatt , erősen szelektív Hátrányok: rossz anizotrópia, rossz folyamatszabályozás (hőmérsékletérzékenység), rossz részecskeszabályozás, magas vegyszeres ártalmatlanítási költségek, nehezen használható kis jellemzőkkel (buborékok, stb...).
Milyen előnyökkel jár a száraz plazmamaratás a nedves kémiai maratással szemben?
Íme néhány pillantás a plazmamaratás számos előnyére a savas maratáshoz képest: Javítja a maratott anyag fizikai tulajdonságait . Két felületre jobban tapad, mint a többi maratószer. A savas maratószerekkel ellentétben a plazma maratószer kiváló tisztítószer is, és eltávolítja a nem kívánt szerves maradványokat a fémfelületről.
Mi a nedves maratás félvezetőben?
A nedves maratás egy olyan maratási eljárás, amely folyékony vegyszereket vagy maratószereket használ az anyagok eltávolítására az ostyáról , általában az ostyán lévő fotoreziszt maszkok által meghatározott meghatározott minták szerint. Azokat az anyagokat, amelyeket ezek a maszkok nem fednek le, a vegyszerek „lemarják”, míg a maszkok által borított anyagok szinte érintetlenül maradnak.
Milyen gázt használnak a fizikai szárazmaratáshoz?
A kémiai szárazmaratáshoz használt ionok egy része a tetrafluor-metán (CH 4 ), a kén-hexafluorid (SF 6 ), a nitrogén-trifluorid (NF 3 ), a klórgáz (Cl 2 ) vagy a fluor (F 2 ).
Mi a különbség az izotróp és az anizotrop maratás között?
Az izotróp és az anizotróp maratások közötti különbségek a maratási maszk alatt kivájt alakhoz köthetők . Az anizotróp marás akkor történik, amikor a plazmamarás merőleges és egy irányban történik, míg az izotróp marás akkor fordul elő, ha a plazmamarás minden irányban történik.
Melyik eljárást alkalmazzák a száraz maratáshoz?
Az ionsugaras maratás (IBE) egy fizikai száraz maratási eljárás. Ezáltal az argonionok körülbelül 1-3 keV-os ionsugár formájában sugároznak ki a felületre. Az ionok energiája miatt kiütik a felület anyagát. ... Ez a gáz reakcióba lép az argonionokkal, és fizikai kémiai maratási folyamatot idéz elő.