Kiegyensúlyozatlan magnetron-porlasztással?
Pontszám: 5/5 ( 36 szavazat )A kiegyensúlyozatlan Magnetron porlasztás során a plazma is felhúzódik a szubsztrátumba , és az argonionok is bombázzák a növekvő vékony filmet. ... A szubsztrát körüli elektronok jelenléte a semleges gázatomok ionizációjához és a plazma ebbe a régióba való behatolásához vezet.
Miért porlad a magnetron?
A magnetronporlasztás zárt mágneses mezőt használ az elektronok befogására , növelve a kezdeti ionizációs folyamat hatékonyságát és alacsonyabb nyomáson hozva létre a plazmát, csökkentve a háttérgáz beépülését a növekvő filmbe és a gázütközések során a porlasztott atom energiaveszteségét.
Mit lehet alkalmazni magnetronos porlasztáshoz?
5 Magnetron porlasztásos leválasztás. A magnetronos porlasztás egy nagy sebességű vákuum bevonási technika, amely lehetővé teszi sokféle anyag, köztük fémek és kerámiák lerakódását tetszőleges számú hordozóanyagra egy speciálisan kialakított mágneses tér segítségével, amelyet egy diódaporlasztási célpontra alkalmaznak.
Mi az a zárt terű kiegyensúlyozatlan magnetronporlasztás?
A Teer Coatings Ltd. által kifejlesztett zárt terű kiegyensúlyozatlan mágnesporlasztó ionplating rendszer optimalizált leválasztási körülményeket biztosít, amelyek lehetővé teszik a kiváló tapadású, sűrű, kemény bevonatok lerakódását . A CFUBMSIP megállapodás a Teer Coatings Ltd.-nek biztosított szabadalmak hatálya alá tartozik.
Mi az a kiegyensúlyozatlan magnetron?
A magnetronokat általában „kiegyensúlyozott” vagy „kiegyensúlyozatlan” kategóriába sorolják. ... Ha a nullpont közel van a célfelülethez, akkor az elektronok könnyebben kiszabadulhatnak, és a magnetron kiegyensúlyozatlan. A kiegyensúlyozatlan kialakítások a vékonyréteg nagy ionos bombázását idézhetik elő a leválasztással egyidejűleg.
Mod-01 Lec-16 Kiegyensúlyozatlan Magnetron Sputtering
Hogyan készítsünk magnetronos porlasztót?
A mágneses porlasztás növeli a plazma sűrűségét azáltal, hogy mágneses mezőt hoz létre a célkatód felületén, és kihasználja a mágneses tér kényszereit a töltött részecskékre a porlasztási sebesség növelésére.
Melyek a porlasztás különböző típusai?
A gyakorlatban többféle porlasztórendszert használnak, beleértve az egyenáramú diódát, az RF-diódát, a magnetrondiódát és az ionsugaras porlasztást .
Mit jelent porlasztás?
1: robbanásveszélyes hangokkal köpni vagy kifröccsenni a szájból . 2: elhamarkodottan vagy robbanékonyan kimondani zavartan vagy izgatottan: "ez nevetséges!" – dörmögte a lány. 3 : (atomok) kiszorítása egy anyag felületéről nagy energiájú részecskékkel való ütközéssel, továbbá : ilyen eljárással lerakni (fémfilmet).
Mi az RF magnetron porlasztás?
Az RF magnetron porlasztás egy olyan technika, ahol az argonionokat rádiófrekvenciás elektromos tér gyorsítja fel, hogy eltalálják a porlasztó anyagból készült célpontot . ... Ha mágneses mezőt használnak az ionok és elektronok pályáinak hajtogatására, az átlagos szabad út megnő, és a porlasztási hozam nő.
Mi porlasztott az egész ostyára?
A porlasztásos leválasztás a vékonyréteg-leválasztás porlasztásos módszere. Ez magában foglalja az anyag kilökését egy "céltárgyból", amely forrás egy "szubsztrátumra", például egy szilícium lapkára. ... A porlasztó gáz gyakran inert gáz, például argon .
Hogyan működik a magnetron porlasztás?
A magnetronos porlasztás egy olyan leválasztási technológia , amely gáznemű plazmát használ, amelyet létrehoznak, és a leválasztandó anyagot tartalmazó térbe zárnak be – a „célpont”. ... A porlasztógázban jelenlévő elektronok felgyorsulnak a katódtól, ütközést okozva a közeli porlasztógáz atomjaival.
Mi az RF és DC porlasztás?
A fő különbség az, hogy a rádiófrekvenciás porlasztáshoz használt teljesítmény AC, míg az egyenáramú porlasztásnál egyenáramú . Alapvetően az egyenáramú porlasztás során a munkagáz ionizálódik. ... A pozitív elektromos tér során a pozitív ionok felgyorsulnak a céltárgy felületére és kiporlasztják azt.
Hogyan működik az RF magnetron porlasztás?
Az RF Magnetron porlasztás mágneseket használ a negatív katód mögött, hogy befogja az elektronokat a negatív töltésű célanyag felett, így azok nem bombázhatják szabadon a hordozót, ami gyorsabb leválasztási sebességet tesz lehetővé. ... Az RF porlasztás képes fenntartani a plazmát az egész kamrában alacsonyabb nyomáson (1-15 mTorr).
Hogyan kopik el a magnetron?
A mikrohullámú sütő teljesítménye idővel csökken, mert a magnetroncsöve gyengül. ... Ahogy a magnetroncső gyengébb és kevésbé hatékony, a mikrohullámú sütő teljesítménye csökken. Ha azt veszi észre, hogy a mikrohullámú sütő ajtaja nem zár megfelelően, ez egyértelmű jele a mikrohullámú sütő cseréjének.
Miért használnak magnetront a plazmarendszerben?
A magnetron egy elektroncső mikrohullámú sugárzás generálására. A plazmatechnológiában magnetront használnak az alacsony nyomású plazma mikrohullámú gerjesztésére 2,45 GHz-es jóváhagyott HF frekvenciával . ... A plazma gerjesztése mikrohullámú csatolással történik pl. szilikaüveg ablakon keresztül.
Mi az a porlasztó bevonat?
Aranybevonat: Egyszerűen SEM bevonat A LUXOR TM asztali porlasztóbevonó egy teljesen automatizált, megfizethető magnetronos porlasztó bevonóeszköz a pásztázó elektronmikroszkópos (SEM) minták vezető arany vagy arany/palládium réteggel való bevonására .
Miért használjuk a porlasztást?
A porlasztó bevonat megakadályozza a minta feltöltődését , ami egyébként a statikus elektromos mezők felhalmozódása miatt következne be. Emellett növeli a próbatest felületéről detektálható másodlagos elektronok mennyiségét a SEM-ben, és ezért növeli a jel-zaj arányt.
Miért használják az RF porlasztást szigetelőkhöz?
Ennek eredményeként az elektronok például egy szigetelő célpontjának eltalálásakor nettó negatív töltést hagynak a felületen, és ez a negatív torzítás lehetővé teszi a pozitív töltésű ionok vonzását, és lehetővé teszi a szigetelők porlasztását egy tipikus rádiófrekvenciás porlasztási folyamatban. .
Mi az a rádiófrekvenciás porlasztás?
Meghatározás: Szintézistechnika, amelyben egy szilárd célpontot mágnesronban (elektromos és mágneses tereket használó eszközben hőtermelésre) generált energikus ionokkal (pl. Ar+) bombáznak, ami atomok kilökődését („porlasztást”) okozza.
Mi az a Semicore porlasztás?
Sputtering rendszer videó. Az együttporlasztás során két vagy több célanyagot porlasztanak egyszerre a vákuumkamrában, és gyakran használják a reaktív mágnesporlasztással olyan vékony filmek előállítására, amelyek keverékek, például ötvözetek vagy kompozitok. Széles körben használják az optikai és építészeti üvegiparban.
Mi az a porlasztó zaj?
A sputter meghatározása szerint halk, robbanó hangok sorozata , összefüggéstelen beszélgetési sorozatokban beszél, vagy köpéshez hasonló hangot ad ki. Amikor egy autó motorja halk, robbanó hangokat ad ki, amikor megpróbál beindítani, ez egy példa arra, amikor életre kel.
Mi az a katódporlasztás?
a negatív elektród (katód) megsemmisülése gázkisülésben pozitív ionok becsapódása következtében . Tágabb értelemben ez a szilárd test megsemmisülése töltött vagy semleges részecskék általi bombázással.
Mi a porlasztás folyamata?
A porlasztási folyamat akkor következik be , amikor a célanyagot porlasztógázzal bombázzák, és az így létrejövő energiaátvitel hatására a célszemcsék kiszöknek, utaznak és filmként lerakódnak a hordozóra . Ahhoz, hogy a porlasztási eljárás hatékony bevonatot hozzon létre, számos kritériumnak kell teljesülnie.
Mitől fröcsög a motor?
A motor porlasztásának egyik leggyakoribb oka a jármű üzemanyagrendszerével – a szűrővel, a szivattyúval és az injektorokkal – kapcsolatos probléma . ... Mivel az üzemanyagszűrő, a szivattyú és a befecskendezők egy összekapcsolt rendszer részeként működnek együtt, a szennyeződéseknek és a törmeléknek csak az egyik részét kell eltömíteni, hogy a többi meghibásodjon.
Mi az a DC porlasztás?
Az egyenáramú vagy egyenáramú porlasztás egy vékonyrétegű fizikai gőzleválasztásos (PVD) bevonási technika, ahol a bevonatként használandó célanyagot ionizált gázmolekulákkal bombázzák, ami atomok „porlasztását” okozza a plazmában . ...